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按工作原理和结构特点分类

（1）机械式容积真空泵

靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外，一般均可单独使用。

（2）射流式真空泵

没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作可靠,寿命长,易于维修,应用比较普遍。

真空泵本身漏气

　　(1)密封圈漏气。解决方案：检查所有密封部位的密封情况，更换破损的密封圈

　　(2)气镇阀垫圈损坏或未拧紧。解决方案：更换垫圈并拧紧气镇阀

　　(3)排气阀片损坏，密封不好。解决方案：更换气阀片。shimadzu tmp-203高速分子泵保养多少钱

　　(4)真空泵中隔板压入时过盈量太大，造成真空泵腔变形而漏气。解决方案：修整真空泵腔或更换。

　　(5)由于真空泵的端面油密封不良造成漏气。解决方案：拆开端盖，检查是否有杂物或不平整，并进行清洗或修理。

(6)转簧变形或折断及旋片动作不灵。解决方案：整修或更换弹簧变形，使转子积旋片配合良好

(7) 进气口的过滤网被堵塞。解决方案：取下过滤网清洗干净，再装上去。

(8)因加工不良或磨损造成配合间隙过大。解决方案：检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

(9)真空泵运转中摩擦发热。温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。解决方案：通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6～1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力

合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在l0级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。进口岛津真空泵维修报价

极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。噪声。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，莱宝真空泵保养，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。

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由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级，抽速可以达到1000L/s，达到抽速的压力区间是1~10-8Pa之间，因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。

真空泵使用注意： 

 di一、经常注意泵运转是否正常，有无特殊声响，电机是否超负荷运转。　　

第二、注意冷却水是否中断。　　

第三、经常注意油位。　　

第四、如停车后旋片式真空泵温要下降到5℃以下时，泵内冷水必须除净。　　

第五、注意泵温升不超过40℃　　

第六、泵起动后再缓慢打开阀门。

运转中真空系统内气体会通过密封真空泵油层不断排出，排出气体会在油层表面产生大量气泡，并从泵排气孔中溢出，造成油品损失与设备污染。加防抗泡剂泵油，在抗泡效果上有明显提高。天然矿物油均有其不可避免漏洞，耐热化性能要比合成油差，泵油成份随热氧化分解极易劣化，极限压力稳定性差，抽速也随运用时间下降。但加剂氧化安定性较纯矿物油有明显提升，普通纯矿物油氧化试验法d943为几百小时左右，而加剂d943可增加到1500小时对上。可见其运用寿命得到增加。

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